在进行纳米级测量非导体的零件表面形貌时，常采用的测量仪器为（

【名词&注释】

扫描隧道显微镜(stm)、编码器(encoder)、角位移(angular displacement)、感应同步器(inductosyn)、进给伺服系统(feed servo system)、纳米级测量(nanometer measurement)、非导体(nonconductor)

[单选题]在进行纳米级测量^{(nanometer measurement)}非导体^{(nonconductor)}的零件表面形貌时，常采用的测量仪器为（）。

A. 光学显微镜
B. 扫描隧道显微镜
C. 原子力显微镜

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学习资料：

[单选题]机床进给伺服系统常用的检测角位移的原件是（）。

A. 感应同步器
B. 光栅
C. 容栅
D. 脉冲编码器

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